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■硝酸・フッ酸回収装置
蒸留濃縮法
シリコンの洗浄に使用した廃液から高純度の硝フッ酸を回収します。
処理液
硝酸＋フッ酸＋Si
回収酸
硝酸＋フッ酸
濃縮液
Si廃液
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